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半導體製造:製造芯片的精密藝術
發佈時間:2023/12/27 18:26:14

半導體製造是一個高度復雜的過程,將原始矽轉化為功能芯片,每一步都需要極高的精度和控製。這一過程從矽片生產開始,高純度矽錠(通過Czochralski法生長)被切成薄的圓形矽片——通常直徑為12英寸(300毫米),用於先進的製造。這些晶圓經過嚴格的清洗以去除雜質,因為即使是一個塵埃顆粒也會導致芯片缺陷。


芯片製造的核心是光刻工藝,它將電路圖案轉移到矽片上。使用紫外線(UV)光,光掩膜(包含芯片的電路設計)將圖案投射到晶圓片上的光敏層(光刻膠)上。曝光後,光刻膠顯影,留下指導後續蝕刻或沈積步驟的圖案。先進的節點(例如3nm, 2nm)使用極紫外(EUV)光刻技術,采用更短的波長來創建更精細的電路特征,從而實現更高的晶體管密度。


光刻之後,晶圓要經歷一系列步驟,包括蝕刻(去除不需要的矽)、沈積(添加金屬或電介質等材料)和摻雜(修改矽的電性能)。為了構建芯片的多層電路,這些步驟要重復數百次。一旦製造完成,晶圓片被切成單獨的芯片(模具),然後用連接器封裝並測試功能。整個製造過程需要超凈設施(潔凈室)和精確的溫度、壓力和濕度控製,以確保產量和可靠性。


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